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前 言 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體企業(yè)的水污染物和大氣污染物排放限值、監(jiān)測(cè)和監(jiān)控要求，以及標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施與監(jiān)督等相關(guān)規(guī)定。 本標(biāo)準(zhǔn)未規(guī)定的污染物項(xiàng)目仍執(zhí)行國(guó)家或地方相應(yīng)的污染物排放標(biāo)準(zhǔn)。 本標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施后，國(guó)家新發(fā)布的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)...

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